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雅科貝思廠家代理

AFXS直線電機(jī)平臺(tái)

直線電機(jī)平臺(tái)用于晶圓、藍(lán)寶石等檢測(cè),由Akribis高性能無(wú)鐵芯直線電機(jī)驅(qū)動(dòng);XY軸采用交叉滾柱導(dǎo)軌,中空結(jié)構(gòu),內(nèi)置光柵系統(tǒng)。分辨率50nm,重復(fù)定位精度可達(dá)士0.75um,絕對(duì)定位精度2um;有效行程70*70mm,最大速度200mm/s;可定制。

產(chǎn)品詳情

Akribis雅科貝思直線電機(jī)平臺(tái)


AFXS直線電機(jī)平臺(tái):參數(shù)



X軸
Y軸

行程


70mm70mm
分辨率50nm50nm
定位精度±2μm  ±2μm
重復(fù)度±0.75 μm±0.75 μm
平面度±3.5 μm
直線度±3.5 μm
最大速度200 mm/s
建議負(fù)載重量< 1 Kg
中空尺寸90 * 110 mm

XY軸正交度

10 arc sec


AFXS直線電機(jī)平臺(tái)


AFXS直線電機(jī)平臺(tái).

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